Pemrosesan Mikro dengan Laser Femtosekon untuk Komponen Kontrol Aliran Presisi

Untuk sistem fluida industri dan gas dengan kemurnian tinggi, kontrol aliran yang presisi, pemantauan tekanan, dan distribusi yang seragam bergantung pada tiga komponen yang sangat penting: lubang mikro yang dikerjakan dengan presisi pada flensa, Gasket Orifice Pembatas (RO) VCR, Dan pembagi aliran gas khususKomponen-komponen ini membutuhkan konsistensi dimensi yang sangat tinggi, tepi yang bebas gerigi, dan tidak ada kerusakan termal sama sekali.

Peran Komponen Kritis: Mengapa Presisi Itu Penting

1. Lubang Mikro Presisi untuk Flensa

Lubang mikro pada flensa saluran keluar, flensa lubang, dan cincin pembuangan adalah tulang punggung pemantauan sistem, yang digunakan untuk Pengetapan Tekanan, Lubang Ventilasi & Pembuangan, Dan Deteksi Kebocoran.

2. Gasket Orifice Pembatas (RO) VCR: Kontrol Aliran Kemurnian Tinggi

A Gasket Lubang Pembatas (RO) VCR adalah komponen segel muka logam yang memiliki lubang mikro tengah yang dikerjakan dengan presisi. Digunakan secara luas pada panel gas semikonduktor, komponen ini sangat penting untuk:

• Pengukuran aliran yang presisi dalam pengiriman gas dengan kemurnian ultra tinggi (UHP).
• Pengurangan tekanan untuk kabinet gas kritis.
• kontrol aliran tersumbat Memastikan distribusi gas yang stabil.

Mono mencapai toleransi ultra-ketat (seketat ±1μm), memastikan integritas permukaan penyegelan VCR tidak pernah terganggu.

3. Pembagi Aliran Gas: Distribusi Seragam

Digunakan dalam peralatan fabrikasi wafer dan laboratorium analitik, pembagi aliran gas Membutuhkan konsistensi yang sangat tinggi antar lubang dan tepi yang halus untuk menghilangkan turbulensi dan kontaminasi.

Biaya Tersembunyi dari Pemesinan Tradisional

Metode lama seringkali gagal memenuhi standar yang dibutuhkan untuk aplikasi UHP (Ultra-High Purity):

• Pengeboran Mekanis: Rentan terhadap keausan alat dan gerigi yang merusak permukaan segel VCR.
• EDM: Membentuk Zona yang Terdampak Panas (HAZ) dan meninggalkan puing-puing karbon.
• Laser Pulsa Panjang: Menyebabkan lapisan hasil peleburan ulang dan retakan mikro, yang mengarah pada pembentukan partikel.
  
  

Keunggulan Mono: Pemrosesan Laser Femtosekon

Kita ablasi dingin Proses ini menghilangkan material melalui pulsa ultra-pendek (10−15 detik), menawarkan:

1. Presisi Ultra Tinggi

Kami secara konsisten memproduksi lubang mikro dengan kebulatan yang hampir sempurna dan akurasi sub-mikron, yang sangat penting untuk Gasket VCR RO.

Gambar 1: Lubang mikro 70μm dengan konsistensi tinggi yang dibuat oleh Mono.

2. Bebas Gerinda, Nol HAZ

Menghilangkan proses penghilangan gerinda sekunder dan mempertahankan ketahanan korosi baja tahan karat 316L. Ini sangat penting untuk kinerja bebas partikel di ruang bersih.

3. Fleksibilitas Desain

Mendukung pola sembarang, susunan radial, dan material termasuk Inconel, Hastelloy, Titanium, dan Keramik.

Kemampuan Teknis & Kepatuhan

• Diameter Lubang: 10μm hingga 1mm (toleransi ±1μm).
• Rasio Aspek: Hingga 10:1.
• Skalabilitas: Dari pembuatan prototipe cepat hingga produksi massal.